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知財,特に特許を中心とした事件を扱っている理系の弁護士の雑記帳です。知財の判決やトピックについてコメントしたいと思っております。
1 本日はこの日経の一面の話にしました。

 ま,よくあるM&Aの話なので,弱小零細弁護士の私には関係ねえこった~♫と斜め読みしていたら,あ,こりゃエンジニア時代の仕事とも関係することで,技術の中身が実によくわかったので取り上げました。

2 半導体ってどう作るか知ってますかね?半導体って身の回りにたくさんあるし,いまやIT企業の話が世にでることも多いのですが,実際どうやって作るかってあまり知らないのではないでしょうか。

 ま,建築と土木の話と同様(ごちそうさんでもこの辺の確執が描かれてましたね。),半導体の回路設計ってITの極限みたいな技術で,何か華やかでつぶしも効きそうって感じがします。こちらが建築に当たります。
 他方,半導体の製造(プロセスって言います。)は,クリーンルームの巨大装置で行うもので,スイッチポンないしは力仕事って所じゃないでしょうか。こちらは,土木に当たります。

 で,私がエンジニア時代やっていたのは,後者の方ですので,あんまりつぶしも効きませんし,弁護士として大してニーズもありません。たまに,こんなわけわからんもの,あの弁護士にでも頼もうっていう判例時報の判例評釈の依頼が来るくらいです。

 ま,そんな日陰者のプロセス屋としては,たまにこんな新聞の一面に馴染みのある技術が載ると嬉しいわけですね。

 と,脱線しておりますが,そろそろ本題に戻りますかね。半導体の作り方です。

 基本,基板(大体Si)に膜を作って,その膜を設計とおりに加工するということを繰り返すだけです。
 ①膜の作り方は,CVD(化学反応),スパッタ(物理作用),熱酸化,最近じゃメッキなんて方法もあります。CVDは化学反応故,パーティクル(欠陥の原因となる小さいゴミ)があまり出ないのですが,成膜温度が高く,他方スパッタは成膜温度が低いものの,運動量でターゲット材をぶっ叩くのでゴミは若干出ます。酸化はMOSのOを作るときだけが基本で,メッキは例外ですね。
 なので,プロセスの経緯によって,前半はCVD,後半はスパッタみたいな感じで成膜するわけです。

 ②ただ,半導体って電気装置ですので,電気を流して何らかの機能を発揮するものです。通常NMOSとPMOSを組み合わせてCMOSにすると電力が小さくて済みますので,これをうまく組み合わせて論理回路のANDやORやNOTやNORやNANDの回路を形成することになります。そうしますと,半導体にうまく電気が流れるよう膜に細工をしないといけないのですが,これがイオンインプランテーションやら拡散という技術になります。ただのシリコンに,ヒ素やPを入れるとNchになりますし,ボロンを入れるとPchになります。

 ③こうやって,電気的に有効な膜が出来たとしても配線として要らない所は削らないといけません。そのために,露光技術が必要で,今回話のでたCanonやニコンが有力メーカーということですね。

 それはまさにカメラと同様で,膜に感光性の有機材料を塗り塗りして,その上に,マスクをかぶせて光をガッチャンコ,光の当たったところだけが現像液に溶けるようになり(ポジ型),膜の上にレジストの配線模様が出来上がるわけです。

 そしたら,それをエッチングするのですね。今はRIEってやつでやるのがデフォーですかね。つまり,レジストの乗っていないところが削られてなくなり,レジストの乗っているところが残るわけです。

 この①~③工程を,膜の数というか配線の数だけ繰り返す,というのが半導体の作り方ですね。

3 で,今回の技術は,この③の技術の置き換えです。私がエンジニアだった頃は,露光技術といえば,日本のキャノンとニコンの独壇場,どっちかと言えばキャノンのほうが優勢だったと思います。ところが,2000年を超えたあたりから,オランダのASLMが微細化に対応し,ニコンがちょっと遅れて何とか対応し,他方キャノンはもう対応できないよ~というような状況になってしまいました。

 やはり光とマスクでやるのが物理限界に近くなってますからね。で,数年前から,今回キャノンが買収した会社の得意な技術であるナノインプリントという技術がクローズアップされてきました。

 ま,従来技術がカメラだとすると,今回は,型押しです(ハンコという話もありますが,ちょっと違うような~)。

 膜に,型押しの材料となるレジストを塗り塗りし(ここまでは変わりませんが),型であるスタンパーをそのレジストに直接押し付け,UVや熱などで固めます。その後,型を離すと,型の逆の山谷がレジストに転写されます。そしたら,谷の部分に若干残っているレジストを,アッシングか何かで取り(やっぱRIEかな),レジストパターンの完成です。

 あとは従来とおり,エッチングすれば配線パターンが出来る,というわけですね。

 いやあ,光とマスクで遅れたキャノンとしては是非ともモノにしたい技術です。特許はかなり出しているようですが,実際モノにならないと意味がありませんからね。と言っても,これくらいの集積度だと,装置がうまく完成しても,買えるのは,インテルとサムソンと,TSMCくらいじゃないかなあ。東芝は微妙ですねえ。

 まあ兎も角も,新しい技術の話ですから,基本アップ系のワクワクする話であります。

4 あとキャノンで思い出しましたが,今のトップの御手洗さんは大分出身ですね。もう名前からして県南ってすぐ分かる苗字です。で,御手洗さん,昔経団連の会長をしていたこともありました。

 そう,経団連会長と言えば,財界のトップです。謂わば表稼業のトップでもあります。

 他方,裏稼業のトップといえば山口組の組長ですが,ここしばらくは,司忍さんですね。
 ちょっと前に出所するときは話題になりましたし,相撲の中継がそれに絡んで話題になったこともありました。まさに裏稼業のトップです。
 で,いきなり何でこんな話をするかというと,この司忍さん,実はやはり大分出身。つまり,ある時期,日本の表稼業のトップも裏稼業のトップも大分出身者だったのですね~,ああびっくり。

 他にも,ポツダム宣言を受諾を決めた?最高戦争指導者会議6人のメンバー(鈴木首相,東郷外相,阿南陸相,米内海相,梅津参謀総長,豊田軍令部総長)中,3人も大分出身だったりします(阿南陸相,梅津参謀総長,豊田軍令部総長)。これも意外なところじゃないでしょうか。

5 追伸
 そうだそうだ,今日は東京は朝からずっと雪です。ですので,非常に寒いです。
 事務所の周りは人通りも多いので,そんなに積もるということもありませんが,これから明日の朝にかけてはまた積もるかもしれませんね。

 ここへ来て結構雪の降る日が多くなってきましたが,早く夏にならないかなあ。

 あと,オリンピックについては,男子のスロープスタイルを見ました。結構面白いのですが,そんなにスノボの真似をしたけりゃスノボすりゃあいいのにと思うのは私だけでしょうかね。いやあバブルのころに,1級だとか準指だとか軍隊式にスキーをやってた人が,雪じゃない鉄のパイプの上を滑っているスキーを見て,やめて~エッジが~とか,やめて~ソールが~とか思わないのか不思議です。

 カービングスキーがそもそもスノボの真似ですし,最近じゃロッカーボードとかキャンパーボードとかいう板の撓り具合もスキーでの真似が始まっているようですよ。ムハ~♫
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理論物理学者を志望したのはもう30年近く前のこと。某メーカーエンジニアを経て,弁理士に。今は,弁護士です。
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